ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ПАРОВ МЕТАЛЛОРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ
- Термин
- химическое осаждение из паров металлорганических соединений
- Термин на английском
- metalorganic chemical vapour deposition
- Синонимы
- Аббревиатуры
- MOCVD
- Связанные термины
-
физическое осаждение из газовой фазы, эпитаксия газофазная
- Определение
- разновидность метода химического осаждения из газовой фазы, в которой в качестве прекурсоров используются летучие металлоорганические соединения.
- Описание
- Авторы
- Журавлева Наталья Геннадиевна
- Шляхтин Олег Александрович, к.х.н.
- Ссылки
- Иллюстрации
- Теги
- Разделы
-
Химическое, термическое и электродуговое ocаждение из газовой фазы (в том числе CVD, EVD, MoCVD, PVD и аналоги)
Методы нанесения элементов наноструктур и наноматериалов
Получение, диагностика и сертификация наноразмерных систем
(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)
Смотреть больше слов в «Энциклопедическом словаре нанотехнологий»
ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ РАСТВОРОВ →← ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ